潔凈室現場(chǎng)測試結果及討論分析

潔凈室現場(chǎng)測試結果及討論分析:

本文是根據我司在建潔凈室時(shí)測試結果及分析供大家參考！
>>測試結果127點(diǎn)VESDA時(shí)間由40秒到260秒不等，回風(fēng)層大多數測試點(diǎn)可以120秒標準要求下偵測到現場(chǎng)放煙，超過(guò)120秒之測試位置如圖2及圖3上灰階方塊所示，圖上向量箭頭代表放煙後偵測器作動(dòng)之煙流方向。
>>放煙測試失敗地點(diǎn)有在潔凈室區域成品及半成品倉庫(Stocker)附近及排氣系統管末盲板(End-cap)附近。由現場(chǎng)放煙時(shí)可以清楚發(fā)現煙被排氣管末盲板及倉庫吸入，工程設計時(shí)應先鑒認類(lèi)似上述吸氣位置。

必須要提醒，半導體廠(chǎng)與4/5 G TFT-LCD廠(chǎng)在Stocker設計不同∶

半導體廠(chǎng)Stocker只有潔凈室高，因此內部正壓是把煙吹離Stocker;4/5 G TFT-LCD廠(chǎng)由於玻璃面板大， Stocker通常設計為垂直連通一樓回風(fēng)層及二樓潔凈室層，內部正壓在一樓回風(fēng)層仍是將把煙吹離Stocker，但是二樓潔凈室層卻是把煙吸入Stocker并經(jīng)過(guò)濾清除，因此在Stocker附近測試不合格(超過(guò)120秒)是必然的事。>一樓回風(fēng)層及二樓潔凈室層內部仍有一些位置測試不合格(超過(guò)120秒)，但是依據實(shí)測都在260秒內作動(dòng)，因此初步研判VESDA作動(dòng)應與氣流速度有關(guān)。記錄所有測試位置之距離、作動(dòng)所需時(shí)間、潔凈室平均下降垂直層流速度，提出經(jīng)驗公式如下，未來(lái)期望有更多的現場(chǎng)測試以驗證此經(jīng)驗式變成通用公式。

警戒區垂直冷盤(pán)(Dry Coiler)之長(cháng)度[公尺]=每小時(shí)換氣次數/3600×潔凈室高度[公尺]×風(fēng)扇過(guò)濾模組覆蓋率[%]×120[秒]=平均潔凈室下降氣流速度[公尺/秒] ×120[秒]

於本研究中，VESDA驗收設定120秒警戒區長(cháng)度，因潔凈室內各區每小時(shí)換氣次數不同(潔凈度不同)，大約是24至35公尺如圖3所示。
上述方程式對300mm晶圓廠(chǎng)及第5代TFT-LCD廠(chǎng)十分重要，因為在這些新廠(chǎng)潔凈室高度大輻增加，此外，為了節約能源垂直下降氣流速度降低，因此VESDA布點(diǎn)設計就完全不同於一般8寸晶圓廠(chǎng)或第4代TFT-LCD廠(chǎng)。

>>不可否認仍有一些位置放煙後行為奇特，無(wú)法合理解釋。但是在其附近再增加測試點(diǎn)其結果滿(mǎn)足驗收標準，關(guān)於此點(diǎn)仍需進(jìn)一步研究。
實(shí)驗中也有發(fā)現某些放煙位置會(huì )有二組VESDA作動(dòng)，為求監測范圍建立正確性，都以最先作動(dòng)者為基本資料。

>>VESDA原廠(chǎng)設計也經(jīng)由此研究比對及修正，如圖4所示，不同VESDA警戒區域標示與其VESDA相同編號。在此區域內，如果有煙產(chǎn)生，根據實(shí)驗VESDA應能很快作動(dòng)，緊急應變人員(ERT)可以先搜尋上述由實(shí)驗找出的各監測器有效監測范圍，而不必搜尋全部空間。

>>為使偵煙時(shí)間縮短許多廠(chǎng)商幾乎是冷盤(pán)前方及整個(gè)夾心層下方都有布點(diǎn)，通常需要100套以上VESDA，成本約2500~3000萬(wàn)臺幣。二次布點(diǎn)通常要布在夾心層下方，藉由現場(chǎng)全尺度測試，可以清楚知道只有潔凈室中間區域(標示2nd design)是需要二次布點(diǎn)設計(如圖4所示)，而不是整個(gè)夾心層(Waffle Slab)下方都需要布點(diǎn)，如此一來(lái)可節省至少1000萬(wàn)臺幣。其設計密度依據原廠(chǎng)建議仍訂為每套300平方公尺。

>>藉由現場(chǎng)測試，編號52-53及56-58之VESDA警戒區特別小，VESDA受環(huán)境影響功能不佳之結果或程度，目前尚不清楚，下降氣流速度應該是重要因素之一，由本個(gè)案研究可暫時(shí)推論∶放煙位置下降氣流速度小於0.05m/s時(shí)不合格可能性極高。

>>利用過(guò)載電流通過(guò)直徑小的電線(xiàn)，最好使用BS6266規定之PE線(xiàn)。如果使用PVC披覆線(xiàn)材產(chǎn)生的戴奧辛對人體有害，且是否會(huì )產(chǎn)生微小煙粒殘留及其對潔凈室所可能造成的影響，目前無(wú)相關(guān)研究報告。

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